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山东力冠微电子装备有限公司成立于2013年,国家高新技术企业,经十年发展,山东力冠微电子装备有限公司已经成为国内领先的半导体工艺装备制造商。主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与专业化的技术服务。
公司产品被广泛用于IC集成电路、功率半导体、化合物半导体、5G芯片、光通信、MEMS等新型电子器件制造领域,致力于半导体装备产业的振兴与发展。
山东力冠微电子装备有限公司始终坚持“科技发展是第一生产力”的科学发展理念,将企业发展路径与技术研发紧密联系在一起,为客户提供优质的产品和完善的服务。向着国际化、现代化企业昂首阔步前进。
目前公司主要产品有:
  硅基半导体设备:LPCVD、热氧化/扩散炉、ALD设备。
  第三代半导体设备:HVPE单晶生长设备、PVT单晶生长设备、SiC籽晶粘结设备、MPCVD设备、SiC高温氧化炉、SiC高温退火炉
  晶 体 设 备:晶体提拉炉、坩埚下降炉
  石 墨 烯 设 备:石墨烯CVD设备、石墨烯卷对卷设备
   



 
地址:山东省济南市天桥区梓东大道8号中德产业园13号楼A区
联系人:孙维娜
手机:18853141218
传真:0531-58620509
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